拋光液是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑，拋光液具有良好的去油污，防銹，清洗和增光性能，并能使金屬制品超過原有的光澤。本產品性能穩(wěn)定、無毒，對環(huán)境無污染等作用。

硅片去除研磨損傷深度的拋光工藝所用液體材料稱拋光液(俗稱拋光劑)。常見的有二氧化硅拋光液及三氧化鉻拋光液，呈淡黃色或黃色透明液體如右圖(由于燈光原因可能會出現偏色現象)。

拋光液是由多種化工溶液配制而成的溶液，它在拋光工藝中有重要的地位，合理選擇拋光液，能使加工出來的工件表面光亮美觀，色澤鮮艷，光亮奪目，還可以防止工件的銹蝕，保持與提高工件表面的光澤，起到清潔工件與磨具的作用。去除油污，軟化工件表面以加速磨消，減少磨具對工件的沖擊，改善工件條件。它具有無毒，無腐蝕，不易變質等性能。

拋光液的種類很多，應根據加工條件來選擇。在光整效率，工作的研磨質量，拋光的光潔度等方面。拋光液都顯示出其獨特的效果。

拋光液的酸堿度就是拋光液的PH值，當拋光液的PH值為9.6時，拋光液的機械作用遠大于化學作用，去除速率比較大，導致拋光后拋光片表面產生高損傷層，粗糙度比較大;當拋光液的pH值增大為10.84～11.34時，機械作用和化學作用達到一種對等狀態(tài)時，此時化學作用的均勻性好，使得表面張力小，質量處理的一致性好，可以得到良好的表面拋光效果;當pH值大于11.67時，SiO2水溶膠在強堿的作用下，生成易溶于水的硅酸氨，使得硅溶膠中的SiO2顆粒不能起到磨削作用，變成透明的液體，此時機械作用基本失效，拋光以化學作用為主，表面蝕坑增多，使得表面粗糙度重新增加。